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可靠地监测机器人的旋转
为了绝对精确的定位机器人的末端效应器，我们的磁编码角度测量传感器是理想的选择。这些传感器可检查机器人关节的旋转运动，这些关节则运送末端效应器，将其带入末端位置，最后放置晶圆。
特点
- 易于集成，传感器头小
- 重量轻，是机器人技术的完美选择
- 传感器和圆环之间的距离大：安装简单，操作安全性高
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半导体行业的解决方案(紧凑、可靠、超性能、高精度)
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