检测晶圆的存在
为了确保工艺的可靠性，您可以使用我们的除气优化的漫反射传感器监测晶圆或运输筐的存在。带有外部放大器的红外光传感器适合在真空中使用。它们的超扁平设计只有1.7毫米高，易损面积小，非常适合真空室中的有限空间。
特点
- 超平坦设计，节省空间
- 无盲区
- 高度坚固的不锈钢外壳
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半导体行业的解决方案(紧凑、可靠、超性能、高精度)
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