检查晶圆是否存在
我们的光电传感器带有独立的电子元件，可使用带有小光斑的特殊光学元件，通过观察孔径检测晶圆或载体的存在。您只需将不锈钢外壳的真空兼容漫射传感器放入您的工艺室。然后密封胶室，不需要电缆馈通。
特点
- 具有小光斑的微型光学器件
- 坚固的不锈钢外壳，具有密封功能
- 可用于高达1×10-9毫巴的真空应用
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