检查端部效应器上的晶圆是否存在
您还可以使用我们的带PTFE涂层的电容式传感器来检查晶圆是否存在于末端效应器上。这些传感器可出色、准确的检测超薄硅片，即使它们处于下沉的位置，安装高度也仅为2.5毫米。为确保与末端效应器的完美整合，采用外部放大器使得远程调整变得很容易。
特点
- 非常平整，只有2.5毫米
- 采用PTFE外壳，也适用于各种表面
- 在最小的安装空间内实现高精度
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半导体行业的解决方案(紧凑、可靠、超性能、高精度)
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