在预对准中对准晶圆
通过在预对准中精确定位，就可以将您的晶圆完美地送入加工室中对准。我们为光学预对准器提供了一个很好的解决方案：一个具有特殊均匀性的高分辨率光带。有了它，您还可以检测到槽口或平面，精确地将晶圆置于中心位置。此外，我们的光阵也非常适合整合到您的预对准器中。
特点
- 非常精确的红色激光：高分辨率且极其均匀
- 不同的光照长度满足个性化需求
- 直观的操作
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