采用定制解决方案进行晶片定心
在真空中处理晶片
在半导体生产中，精确可靠的晶片定心对每个工艺步骤都至关重要。晶圆必须以极其精确的精度和特定的方向定位在加工室中。由于搬运机器人的末端执行器实际上并不 "抓取 "晶圆，而只是将其抬起，因此必须确定准确的加工位置。这对于确保晶圆的均匀加工以及避免出现移除不均匀或变形等错误是非常必要的。
在我们定制解决方案的帮助下，晶片可以晶片可以准确地放置在预定位置上.例如，使用两个 Micromote 光电传感器就可以非常可靠地对准晶圆。如果两个光栅没有同时切换，它们的高精度信号可以计算出理想线的偏移量。得益于我们的微点技术，您可以在移动过程中校正晶片因为它能精确识别晶片的尖锐边缘。
为了尽可能精确地检测定位，我们用于光学传感器头的放大器以极高的开关频率支持传感器将晶片对准中心。
"标准产品不能满足您的要求？除了广泛的标准产品组合，我们还提供定制解决方案。请联系我们，讨论您的要求。
(本杰明-伦茨（Benjamin Renz），半导体与电子产品全球市场部门经理
特点
- 高度聚焦的 LED 光斑，具有出色的均匀性
- 最小、节省空间的设计
- 定制解决方案
用于晶片定心的产品
让我们为您的系统提供最佳服务
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