Durchflussventile zuverlässig kontrollieren

Beim ALD (Atomic Layer Deposition) in der Halbleiterfertigung werden nach und nach Atomlagen aus Vorläufermaterialien auf ein Substrat aufgebracht, um ihnen Eigenschaften wie Leitfähigkeit, chemische Beständigkeit und Festigkeit zu verleihen. Dieser Prozess erfordert ein hohes Maß an Präzision, weshalb spezielle ALD-Ventile zum Einsatz kommen. ALD-Ventile sind eine Schlüsselkomponente zur Erzielung eines stabilen Chemikalienflusses in die Prozesskammer, und sie werden jede Woche bis zu 1 Million Mal betätigt.

Wenn der regelmäßige Durchfluss eines Mediums in die Prozesskammer über ein Ventil gesteuert wird, müssen Sie sich auf das Ventil verlassen können. Unsere induktiven Sensoren überwachen zuverlässig die Ventile Ihrer Halbleiterfertigung. Durch sie können beispielsweise der Ventilstatus gemessen oder ein Ventilverschleiß erkannt werden.

Speziell für diese Anwendung wurden unsere induktiven Hochtemperatur-Sensoren in M5 entwickelt. Diese sind für Temperaturen von bis zu 135 °C ausgelegt und lassen sich durch ihre kleine Bauform hervorragend in das Ventil integrieren. Eine nach dem Einbau am hinteren Ende des Sensors sichtbare LED ermöglicht dabei eine kontinuierliche Überwachung des Ventils. Hierbei wird keine nachgeschaltete Auswerteeinheit benötigt.

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