Kontrola přít. waferu na konc. efektoru

Zda wafer leží na koncovém effektoru, můžete alternativně kontrolovat našimi kapacitními snímači s povrstvením PTFE. Tyto snímače snímají ultratenké wafery velice spolehlivě, i když jsou prověšené. Jejich montážní výška činí jen 2,5 mm, takže integrace do koncových effektorů nedělá problémy. Díky jejich externímu zesilovači je možné jednoduše provádět jemné seřízení.

Zvláštnosti