确保晶元在托盘的中心

确保晶元在托盘的中心

负载锁定系统的两个备选参考光栅

解决方案 – 版本1

我们的光电传感器BOH提供一个用于实现晶片定心参考光栅的版本。它们作为拧入式规格在具有密封功能的坚固不锈钢壳体中提供,通过带小光点的微型透镜工作。可通过外部放大器舒适地进行精调。

特点

  • 拧入式规格
  • 具有密封功能的坚固不锈钢壳体
  • 带小光点的微型透镜
  • 适合低至1x10-9 mbar的真空应用
  • 配备外部放大器,远程校准简单

解决方案 – 版本2

另外我们的光传感器或带集成式微型镜头的一次性光栅BOH可供使用,我们乐意根据您的个性化要求对它们进行匹配。

特点

  • 用于您的个性化背景的集成式微型透镜
  • 适合至1x10-9 mbar的真空应用
用于晶片在真空隔离室 (Load-Lock) 内定心的参考光栅
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