线性位移探测

线性位移探测

以最高精度快速测量

解决方案

对于线性位移检测,我们的磁编码式位移及角度测量系统BML是最佳的解决方案:测量系统以高精度快速进行测量,分辨率达1 μm系统精度达+/–7 μm。系统以非接触方式工作,因此完全无磨损。

特点

  • 高精度 (分辨率达1 μm) 且快速
  • 系统精度达+/–7 μm
  • 采用非接触式式作原理,无磨损
  • 适合高达48 m的检测距离
晶片加工的最高精度和速度
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