针对在真空中应用的高精度传感器解决方案
针对在真空中应用的高精度传感器解决方案

在真空应用的高精度解决方案

为了在高真空、超高真空和超高纯真空中直接使用,需要具有特殊设计的传感器。我们为此提供具有密封功能的拧入式规格以及适合安装在高真空中的高精度光电传感器。这时信号通过“直通”解决方案通过电导线的电缆套管从真空腔中引出。

应用案例

  • 确保晶元在托盘的中心

    负载锁定系统的两个备选参考光栅

    解决方案 – 版本1

    我们的光电传感器BOH提供一个用于实现晶片定心参考光栅的版本。它们作为拧入式规格在具有密封功能的坚固不锈钢壳体中提供,通过带小光点的微型透镜工作。可通过外部放大器舒适地进行精调。

    特点

    • 拧入式规格
    • 具有密封功能的坚固不锈钢壳体
    • 带小光点的微型透镜
    • 适合低至1x10-9 mbar的真空应用
    • 配备外部放大器,远程校准简单

    解决方案 – 版本2

    另外我们的光传感器或带集成式微型镜头的一次性光栅BOH可供使用,我们乐意根据您的个性化要求对它们进行匹配。

    特点

    • 用于您的个性化背景的集成式微型透镜
    • 适合至1x10-9 mbar的真空应用
    用于晶片在真空隔离室 (Load-Lock) 内定心的参考光栅
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    行业团队

    您是否有疑问或需要咨询?欢迎您联系我们的行业团队。

  • 晶元在“叶片”上的有无检查和位置识别

    负载锁定系统的两个备选参考光栅

    解决方案

    我们的光电传感器BOH可靠识别晶片“on Blade”的存在和位置。而且没有死区。它们的超扁平安装刻度允许集成到您的系统中,从而节省空间。

    特点

    • 超扁平的结构高度 (1.7 mm) 节省空间
    • 没有死区
    • 气体析出优化的PTFE电缆
    • 配备外部放大器,远程校准简单
    晶片“on Blade”的存在检查和位置识别
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  • 真空腔上通过壳体通道的有无检查

    在极端严苛的环境下时也能可靠识别晶片

    解决方案

    巴鲁夫的光电传感器BOH甚至能够通过真空腔上狭窄的壳体通道可靠检查晶片的有无情况。它们具有带小光点的微型透镜。我们可按照您的个性化设计规定实现密封功能。

    特点

    • 带小光点的微型透镜
    • 具有密封功能的坚固不锈钢壳体符合个性化设计规定
    • 适合低至1x10-9 mbar的真空应用
    • 配备外部放大器,远程校准简单
    在极端狭窄时也能可靠识别晶片
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    行业团队

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