半导体制造中的泄漏监测
半导体制造中的泄漏监测

保证过程安全的智能技术

在半导体制造中对安全性和稳定性的要求非常高。凭借可靠的零部件,我们为您的过程安全保驾护航,确保您的液位始终在最佳范围内,让您及早检测到物料的泄漏。

我们的电容式传感器BCS能以直接接触的方式或透过容器壁的方式检测导电及非导电物料包括液体、颗粒物和粉末等所有材料,导电和非导电材料。通过Smart Level技术,我们的电容式传感器甚至能穿透壁厚达10 mm的塑料容器可靠地检测高浓度酸液和碱液。

巴鲁夫传感器安装简单,甚至能毫无问题地集成到现有设备中。因此,您的加工过程不仅安全、而且高效经济。

应用案例

  • 透过容器壁以非接触方式探测液位

    透过容器壁的非接触式和可靠的探测

    解决方案

    我们的电容式传感器BCS透过您的塑料罐的容器壁以非接触方式探测液位,无论酸、碱还是超纯水都一样。同时,我们的Smart Level技术具有补偿回路计算,能识别任何类型的水、泡沫和粘着物。

    传感器安装简单,可以选择胶带、螺丝或用电缆扎带固定。

    特点

    • 探测酸、碱和超纯水
    • 适合最大10 mm的壁厚
    • 不需要任何连通器
    • 降低安装和材料成本
    • 使用Smart Level技术进行补偿回路计算,从而识别泡沫和粘着物
    • 安装简单、灵活
    半导体工业中的非接触式液位探测
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  • 连通器上的液位探测

    直接在连通器上进行非接触式和可靠的探测

    解决方案

    我们的电容式传感器BCS可直接在连通器上以非接触方式探测液位,无论酸、碱还是超纯水都一样。同时,巴鲁夫Smart Level技术具有补偿回路计算,能识别任何类型的水份、泡沫和粘着物。传感器可以用电缆扎带迅速而简单地安装。这就节省了安装费用和成本。 特点

    特点

    • 探测酸、碱和超纯水
    • 使用Smart Level技术进行补偿回路计算,从而识别和粘着物
    • 用电缆扎带迅速、简单和成本适宜地安装
    • 可提供IO-Link版
    旁路管上的非接触式液位探测
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  • 接触罐内液体的液位探测

    可靠探测高导电性的液体

    解决方案

    我们的电容式传感器BCS在您的罐中探测高导电性的工液体,例如酸、碱和超纯水。此时,Smart Level传感器补偿任何类型的水份、泡沫和粘着物。

    特点

    • 非齐平式安装
    • PTFE材质的外壳
    • 通过Smart Level补偿回路的计算,识别泡沫和粘着物
    可靠探测导电性强的工艺液体
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  • 罐内的非接触式液位测量

    不间断且高精度地探测液位

    解决方案

    我们的BTL磁致伸缩位置测量系统精确到μm范围内以非接触方式高精度地探测您的罐内液位。通过一根耐高压不锈钢管保护测量路径。因此,巴鲁夫为您保证测量结果的绝对可靠性和最高质量。

    特点

    • 精确至μm的高精度液位测量 (绝对式)
    • 能够进行分离层测量
    • 不锈钢中的BTL磁致伸缩位置测量系统 (可加镀PFA涂层)
    • 耐压
    持续和高精度地探测罐内液位
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  • 检测液体有无溢出

    能可靠识别最小溢出量

    解决方案

    我们的电容式传感器BCS已经可识别池底最小的泄漏量。能检测容器底部的最小溢出量,它们因此保证您的溢流池的可靠的泄漏监控能可靠监控溢流池的溢出情况。利用配套的支架便捷而迅速地解决了传感器的安装。

    特点

    • 通过使用配套的支架轻松安装 (2 mm距离间距)
    • 耐化学性耐腐蚀性
    • 可提供IO-Link版本
    溢流池的可靠的泄漏监控
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