半导体 > 安全的晶元加工 – 一道道工序
晶片加工时可靠的位置检测

安全的晶元加工 – 一道道工序

我们的传感器保证在加工过程中,在各敏感工艺步骤间可靠运输晶元。通过精确检测物体的有无及位置,传感器在平板印刷,干式蚀刻及清洁过程中保障晶元运输的通畅。同时,细小的零部件能让传感器集成到机器人中。这样即使在安装空间较小时也能保证可靠的晶元识别。

应用案例

晶元有无的检测
集成的晶元检测
线性位移探测
FOUP物体有无的检测
利用感应式低电压传感器进行位置检测