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针对在真空中应用的高精度传感器解决方案

在真空应用的高精度解决方案

为了在高真空、超高真空和超高纯真空中直接使用,需要具有特殊设计的传感器。我们为此提供具有密封功能的拧入式规格以及适合安装在高真空中的高精度光电传感器。这时信号通过“直通”解决方案通过电导线的电缆套管从真空腔中引出。

应用案例

确保晶元在托盘的中心
晶元在“叶片”上的有无检查和位置识别
真空腔上通过壳体通道的有无检查